西安科技大学学报

2012, v.32;No.123(01) 124-126

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运用Sawyer Tower电路测试薄膜铁电性能
Characterization of ferroelectricity of thin films by sawyer tower circuit

张涛;马宏伟;李敏;张鹏利;赵省贵;

摘要(Abstract):

声表面波煤矿瓦斯传感器是一种新型瓦斯传感器,PZT基高压电铁电薄膜是该类传感器制备的理想功能材料,铁电性作为PZT基铁电薄膜的另一个重要性能对传感器的工作特点和稳定性具有重要影响。因而,测试并掌握具有高压电性铁电薄膜的铁电性也是器件材料表征的一项重要工作。采用Sawyer Tower电路原理,自主设计铁电测试电路,制备PZT基铁电薄膜,并利用该电路测试薄膜的铁电性。由实验结果可知,自主设计的Sawyer Tower电路能简便、有效、准确和直观的测试薄膜的铁电性能,有望广泛应用于薄膜铁电性能测试及研究。

关键词(KeyWords): PZT;铁电薄膜;Sawyer Tower电路;铁电性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 陕西省自然科学基金项目(2009JQ1005);; 教育部博士点基金项目(20106121120001);; 陕西省教育厅产业化项目(2011JG10);; 西安市科技局工业应用技术研发项目(CXY1125(8))

作者(Author): 张涛;马宏伟;李敏;张鹏利;赵省贵;

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DOI: 10.13800/j.cnki.xakjdxxb.2012.01.025

参考文献(References):

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