西安科技大学学报

2011, (02) 80-82

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声表面波瓦斯传感器高压电薄膜研究
High piezoelectricity thin film of surface acoustic wave(SAW) sensor for methane

张涛;马宏伟;赵省贵;

摘要(Abstract):

我国煤矿瓦斯事故频发,造成大量人员伤亡和国有资源流失。声表面波瓦斯传感器体积小、工作稳定,能够有效提高煤矿瓦斯监、检能力,减少瓦斯事故。声表面波瓦斯传感器的灵敏度主要取决于压电薄膜的压电系数及机械品质因数,因而高压电系数、高机械品质因数的压电薄膜对于制备高性能声表面波瓦斯传感器具有重要意义。文中通过磁控溅射法沉积PMnN-PZT三元系铁电薄膜,所得薄膜具有高压电性及较高的机械品质因数,有望应用于声表面波瓦斯传感器制备。

关键词(KeyWords): 声表面波;瓦斯传感器;PMnN-PZT;压电薄膜

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金项目(51074121);; 陕西省自然科学基金项目(2009JQ1005);; 博士后基金面上项目(20100471624);; 教育部博士点基金项目(20106121120001)

作者(Author): 张涛;马宏伟;赵省贵;

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参考文献(References):

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