西安科技大学学报

2010, v.30;No.112(02) 251-254

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器
Research of thin film bulk acoustic resonators (FBAR) using transmission matrix method

张涛;马宏伟;郭长立;张永元;杨华平;

摘要(Abstract):

薄膜体声波谐振器(FBAR)以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用,对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器,利用该方法推导薄膜体声波谐振器的输入阻抗公式,并利用该公式研究了A l/A lN/A l结构的FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数。结果证明,该阻抗公式可有效的用来设计或评价FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数等重要参数。

关键词(KeyWords): 传输矩阵;FBAR;阻抗;谐振频率;谐振品质因数

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(50674075,10774074);; 陕西省自然科学基金资助项目(2009JQ1005)

作者(Author): 张涛;马宏伟;郭长立;张永元;杨华平;

Email:

DOI: 10.13800/j.cnki.xakjdxxb.2010.02.022

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享